古代史の散歩道

X線は容易に物質を透過し、その程度は物質に含まれる原子の原子番号が小さくなるほど強くなる。X線を物質に照射すると、照射したX線が物質構成原子の内殻電子を外殻にはじき出し、空いた空間（空孔）に外殻電子に落ちてくる。余ったエネルギーは電磁場として放射される。外殻電子が移る際に内殻と外殻のエネルギー差に対応する固有X線（蛍光X線）が放出される。内殻と外殻のエネルギー差は元素ごとに固有であるため、蛍光Ｘ線のエネルギーは元素ごとに固有となる。蛍光X線は、元素に固有のエネルギーを持っているので、そのエネルギーからモズレー則により定性分析ができる。そのエネルギーのＸ線強度（光子の数）から定量分析ができる。
対象試料の蛍光スペクトルを見ることにより構成元素の分析ができる。各スペクトルの強度を測定すると、対象試料中の特定元素の濃度が判明する。

1. 測定範囲の全エネルギー（Na〜U）を同時に短時間で測定が可能である。
2. 特殊な試料を除いて前処理不要であり、大気中での分析ができる。
3. 未知試料の分析に適する。
4. 固体、液体、粉体を非破壊による分析ができる。
5. 材料の成分管理、異物・不純物などの微量成分検出、めっきなどの膜厚計測などができる。

• 金属材料の組成評価
• 部品のめっき膜厚の測定
• セラミックスの元素分布の可視化
• ウェハ上金属膜の膜厚分布評価
• 液体の元素分析